本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

[摘要]河南商报讯（记者 陈诗昂）去年9月，我省第一张交通一卡通卡“轩辕通”发行。目前，我省除郑州外另17个地市居民持“轩辕通”卡可畅行北上广深等190余个城市地铁、公交。很快，郑州居民也能享受这一福利。 4月26日，记者从郑州城市一卡通公司（下称一卡通公司...

　　河南商报讯（记者 陈诗昂）去年9月，我省第一张交通一卡通卡“轩辕通”发行。目前，我省除郑州外另17个地市居民持“轩辕通”卡可畅行北上广深等190余个城市地铁、公交。很快，郑州居民也能享受这一福利。

　　4月26日，记者从郑州城市一卡通公司（下称一卡通公司）得到消息，郑州地铁交通部密钥系统已经升级改造完毕，“绿城通”交通联合卡发行在即。

　　也就是说，我省17地市“轩辕通”卡用户将能持卡在郑州搭乘地铁。郑州也将发行“轩辕通”卡，郑州“轩辕通”卡用户也能持卡畅行全国190余个城市的地铁、公交。

　　据了解，“绿城通”交通联合卡背面为“轩辕通”统一标识，正面还是“绿城通”卡的样子。

　　一卡通公司相关负责人介绍，郑州地铁交通部系统升级改造工作已于4月25日全部完成，郑州市三条地铁线路1952台地铁闸机已经完成了相关系统升级。该项目的完成，标志着持各地发行的“交通联合”卡已经可以在郑州乘坐公交车及地铁，全省公共交通全面实现互联互通。

　　该负责人说，为加快推进全省交通一卡通互联互通工作，一卡通公司一直在全力推进全国交通一卡通郑州项目建设。去年9月份，交通一卡通项目清分清算系统建成投产，公交三条线路改造完成并投入试刷运营的基础上，全力推进轨道公司地铁项目改造，但由于地铁系统庞大，牵一发动全身，故地铁改造时间相较公交有所延长。

　　河南商报记者了解到，目前郑州市发行的绿城通，与即将发行的“绿城通”交通联合卡使用两种密钥。“‘绿城通’现使用的是住建部互联互通密钥，已具备全国80多个城市公共交通互联互通功能。同时一卡通公司已预先生产了交通一卡通卡（也称‘轩辕通’卡），‘绿城通’交通联合卡将与市民朋友见面。”上述负责人表示。

　　也就是说，两种卡片可以并行存在，并不影响市民使用。如果想拿着一张卡畅行全国190余个城市，那就需要办理新卡，两种不同密钥系统的卡片押金相同。

　　同时，上述负责人提醒，“绿城通”交通联合卡发行后，办理使用办法将参照“绿城通”现有规则执行，其余具体细节一卡通公司将会陆续发布。

拿着这张卡 河南17地市居民可在郑坐地铁

发布时间：2018-11-08 08:15 来源:豫都网 我要投稿

[摘要]河南商报讯（记者 陈诗昂）去年9月，我省第一张交通一卡通卡“轩辕通”发行。目前，我省除郑州外另17个地市居民持“轩辕通”卡可畅行北上广深等190余个城市地铁、公交。很快，郑州居民也能享受这一福利。 4月26日，记者从郑州城市一卡通公司（下称一卡通公司...

　　河南商报讯（记者 陈诗昂）去年9月，我省第一张交通一卡通卡“轩辕通”发行。目前，我省除郑州外另17个地市居民持“轩辕通”卡可畅行北上广深等190余个城市地铁、公交。很快，郑州居民也能享受这一福利。

　　4月26日，记者从郑州城市一卡通公司（下称一卡通公司）得到消息，郑州地铁交通部密钥系统已经升级改造完毕，“绿城通”交通联合卡发行在即。

　　也就是说，我省17地市“轩辕通”卡用户将能持卡在郑州搭乘地铁。郑州也将发行“轩辕通”卡，郑州“轩辕通”卡用户也能持卡畅行全国190余个城市的地铁、公交。

　　据了解，“绿城通”交通联合卡背面为“轩辕通”统一标识，正面还是“绿城通”卡的样子。

　　一卡通公司相关负责人介绍，郑州地铁交通部系统升级改造工作已于4月25日全部完成，郑州市三条地铁线路1952台地铁闸机已经完成了相关系统升级。该项目的完成，标志着持各地发行的“交通联合”卡已经可以在郑州乘坐公交车及地铁，全省公共交通全面实现互联互通。

　　该负责人说，为加快推进全省交通一卡通互联互通工作，一卡通公司一直在全力推进全国交通一卡通郑州项目建设。去年9月份，交通一卡通项目清分清算系统建成投产，公交三条线路改造完成并投入试刷运营的基础上，全力推进轨道公司地铁项目改造，但由于地铁系统庞大，牵一发动全身，故地铁改造时间相较公交有所延长。

　　河南商报记者了解到，目前郑州市发行的绿城通，与即将发行的“绿城通”交通联合卡使用两种密钥。“‘绿城通’现使用的是住建部互联互通密钥，已具备全国80多个城市公共交通互联互通功能。同时一卡通公司已预先生产了交通一卡通卡（也称‘轩辕通’卡），‘绿城通’交通联合卡将与市民朋友见面。”上述负责人表示。

　　也就是说，两种卡片可以并行存在，并不影响市民使用。如果想拿着一张卡畅行全国190余个城市，那就需要办理新卡，两种不同密钥系统的卡片押金相同。

　　同时，上述负责人提醒，“绿城通”交通联合卡发行后，办理使用办法将参照“绿城通”现有规则执行，其余具体细节一卡通公司将会陆续发布。

梦幻西游门派神器效果大全

每个门派的神器都独具特色。大唐官府的神器可提升横扫千军的伤害与触发几率，让横扫更加犀利。方寸山神器能增强封印命中率，关键时刻掌控战局。化生寺神器可提高治疗量，成为团队坚实的后盾。女儿村神器能增加暗器伤害，在战斗中出其不意。天宫神器能强化天雷斩效果，输出更为惊人。龙宫神器可提升法术伤害，秒出高额数字。五庄观神器能使烟雨剑法更具威力，实现爆发输出。普陀山神器可增强灵动九天的效果，为队友提供强大增益。狮驼岭神器能提升鹰击伤害，展翅翱翔，重创敌人。魔王寨神器可让飞砂走石伤害更高，火焰肆虐。阴曹地府神器能增加判官令的效果，掌控生死。盘丝洞神器能强化天罗地网，令对手难以逃脱。凌波城神器可让浪涌伤害大幅提升，破浪前行。神木林神器能增强落叶萧萧的输出，绿影舞动，威力惊人。天机城神器能提升偃甲技能效果，变幻莫测。无底洞神器可强化夺命咒，咒法生效，克敌制胜。女魃墓神器能让召唤幻魔更具优势，魔影纵横。

具体玩法攻略：首先要重视神器的培养，通过完成任务、副本等获取神器积分来提升神器等级。了解每个门派神器的最佳使用时机，在合适的战斗场景发挥最大效果。与队友密切配合，让神器效果与团队战术完美融合。例如，化生寺配合大唐官府，利用神器增强的治疗与横扫，可在持久战中占据上风。不断之旅中所向披靡。

在梦幻的世界里，门派神器效果丰富多样，为玩家们带来了全新的游戏体验。掌握门派神器效果大全，能让你在游戏中如鱼得水。

梦幻西游门派神器效果大全

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具体玩法攻略：首先要重视神器的培养，通过完成任务、副本等获取神器积分来提升神器等级。了解每个门派神器的最佳使用时机，在合适的战斗场景发挥最大效果。与队友密切配合，让神器效果与团队战术完美融合。例如，化生寺配合大唐官府，利用神器增强的治疗与横扫，可在持久战中占据上风。不断之旅中所向披靡。

活动将节日庆祝与志愿服务深度融合。现场不仅有节日的欢快，更跃动着“雷锋”的身影。社区组织志愿者提供了义务理发、健康咨询、法律科普等多项便民服务，让居民在家门口感受到实实在在的温暖。

随后的文艺汇演精彩纷呈。激昂的腰鼓《欢天喜地》、动感的广场舞《火花》、风情浓郁的新疆舞、悠扬的吹管演奏和温馨的吉他弹唱接连上演。其中，由居民自编自演的三句半《咱们西苑新家园》，用诙谐幽默的方言，生动讲述了社区环境提升、邻里互助、文明新风的点点滴滴，真实可感的“身边变化”引发全场共鸣，笑声与掌声不断。

表彰现场，一个个感人的家庭故事、一个个鲜活的先进典型，生动展现了新时代家庭文明新风尚。

编辑：邱潮

编审：文婷 黄琪雅

终审：邹菲

3月8日，汉阴县城关镇西苑社区举办庆“三八”暨“学雷锋”志愿服务与文明家庭表彰活动。

活动将节日庆祝与志愿服务深度融合。现场不仅有节日的欢快，更跃动着“雷锋”的身影。社区组织志愿者提供了义务理发、健康咨询、法律科普等多项便民服务，让居民在家门口感受到实实在在的温暖。

随后的文艺汇演精彩纷呈。激昂的腰鼓《欢天喜地》、动感的广场舞《火花》、风情浓郁的新疆舞、悠扬的吹管演奏和温馨的吉他弹唱接连上演。其中，由居民自编自演的三句半《咱们西苑新家园》，用诙谐幽默的方言，生动讲述了社区环境提升、邻里互助、文明新风的点点滴滴，真实可感的“身边变化”引发全场共鸣，笑声与掌声不断。

表彰现场，一个个感人的家庭故事、一个个鲜活的先进典型，生动展现了新时代家庭文明新风尚。

编辑：邱潮

编审：文婷 黄琪雅

终审：邹菲